【中環(huán)股份】半導體全自動超聲波清洗機工程案例

項目介紹

半導體產(chǎn)業(yè)是現(xiàn)代電子工業(yè)的核心，而半導體產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)是硅材料工業(yè)。雖然有各種各樣新型的半導體材料不斷出現(xiàn)，但 90%以上的半導體器件和電路，尤其是超大規(guī)模集成電路（ULSI）都是制作在高純優(yōu)質(zhì)的硅單晶拋光片和外延片上的。

硅片清洗對半導體工業(yè)的重要性早在50年代初就已引起人們的高度重視，這是因為硅片表面的污染物會嚴重影響器件的性能、可靠性、和成品率。隨著微電子技術(shù)的飛速發(fā)展以及人們對原料要求的提高，污染物對器件的影響也愈加突出。

合作單位：中環(huán)股份

所屬行業(yè)：半導體行業(yè)

清洗零件：半導體硅片晶圓

清洗設(shè)備：半導體全自動超聲波清洗機

    天津中環(huán)半導體股份有限公司成立于1999年，前身為1969年組建的天津市第三半導體器件廠，2004年完成股份制改造，2007年4月在深圳證券交易所上市，股票簡稱“中環(huán)股份”，代碼為002129。是生產(chǎn)經(jīng)營半導體材料和半導體集成電路與器件的高新技術(shù)企業(yè)，公司注冊資本482,829,608元，總資產(chǎn)達20.51 億。