單晶硅超聲波清洗機(jī)是一種用于清洗硅片等精密物體的清洗設(shè)備。經(jīng)過倒角、雙面研磨、拋光等工藝,從晶體棒上切下的單晶硅芯片表面會附著各種污染物。隨著集成電路對硅片質(zhì)量的要求越來越高,對硅片表面污染物的要求和控制也越來越嚴(yán)格。如果不清洗單晶硅晶片,將嚴(yán)重影響設(shè)備的質(zhì)量和產(chǎn)量。清洗也已成為單晶硅晶片制造過程中的重要步驟。單晶硅超聲波清洗機(jī)通過超聲波振動在液體中形成小氣泡。由于超聲空化的快速破裂,產(chǎn)生了...
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